（原标题：吊问，ASML的伟大发明家死亡）

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跟着埃里克·卢普斯特拉的死亡，ASML 和蔡司失去了一位伟大的系统架构师和发明家。这位来自弗里斯兰的工程师领有 280 多项专利。“通盘紧迫的 ASML 家具都带有埃里克的钤记。”

多年来，Erik Loopstra 一直是 ASML 在费尔德霍芬工程部门的推能源之一。很多（前）同事都觉得他是这家光刻公司机器开发的鼓动者，直到 2018 年他与蔡司公司相助，鼓动了那里的机电一体化本事。本年早些时候退休的 Martin van den Brink 通常与客户筹划，畅达市集和时刻，而 Loopstra 则是公司里面的鼓动者之一。

通盘高技术行业都知说念 Loopstra 的名声，但对于外界来说，他耐久以来一直保持着隐形。这很是稳当他。“他与时刻众人相处得很融洽，”频年来在蔡司与 Loopstra 关系密切的 Wilbert Kohler 说说念。“平素，与他同级别的东说念主不再有这种关系，因为他们在‘目无全牛’太久后，在某个时候失去了筹划。”据 Kohler 称，Loopstra 即是一个典型的例子，他天然赓续普及，但仍然很是夷易近东说念主，这有助于找到好的贬责决策。“因为归根结底，一切都取决于团队相助。”

当他被推到聚光灯下时，卢普斯特拉会感到彰着不安逸。比如在 2018 年欧洲发明家奖全球奖提名的宣传之旅中，他初次引起了公众的耐心。他幽闲地哑忍着这些时刻。“咱们开打趣说，超模的生存比工程师的生存勤苦得多，”与他沿途获奖的瓦迪姆·巴尼内说。“咱们没挑升志到拍几张好相片和录制一段视频要花若干时分。”通过与伴侣沿途进行的宣传之旅，巴尼内说，他还从另一面了解了卢普斯特拉，“一个怜惜的丈夫”。

严肃稳健

“埃里克是一位特出的系统工程师，为 ASML 的很多辗转时刻作念出了宏大孝敬，”ASML 的一份新闻稿写说念，该公司很少晓示职工退休或死亡的音书。时刻应用 Jos Benschop 暗意：“很少有东说念主像埃里克一样为 ASML 的奏效作念出了如斯大的孝敬。他的敬爱心、劲头以及将洞悉力弯曲为内容突破的本事使他成为咱们有史以来最优秀的机器制造商之一。他是咱们很多东说念主的灵感起原，咱们将很是想念他。”

和 Van den Brink 一样，Loopstra 亦然 ASML 求实开发文化的代表。他的办公桌上放着一棵 Efteling 游乐土的童话树的微缩模子。每当表情充满空想和但愿，或者磋议中东说念主们无法充分证明我方的不雅点时，他就会指着它。“Erik 老是能很是瞩目地指出这小数，”一位采纳采访的东说念主说。“要是你对某件事不笃定，或者无法很好地证明它，他就会很是寻衅。”

很多东说念主提到他曾说过的名言，举例“匡助唯有在有效时才是匡助”和“东说念主多力量大”。他的“今天能让别东说念主作念的事情，不要拖到来日”有点像 ASML 的格言。

“Erik 是一位才华横溢的时刻东说念主员，领有极强的洞悉力和创造力，”Hans Sluiters 说说念。行为工程公司 CCM 的别称职工，Sluiters 在 20 世纪 90 年代瓦解了 Loopstra。“除了 Van den Brink，他是唯独一个了解通盘机器模块极度接口的东说念主。他很是专注，从不健忘目的，那即是机器必须以约莫正常的方法尽快送到客户手中。”对于 Loopstra 的挑战方法：“怕死鬼和无礼心受挫的东说念主说他师法了 Brink 的立场，但在我看来，事实并非如斯；他快嘴快舌，令东说念主生畏，但完好意思真实。”

凡俗的时刻员

Erik Loopstra 出身于一个弗里斯兰家庭，在北荷兰省的一个小村落长大。20 世纪 80 年代初，他毕业于代尔夫特 Dedde de Jong 解释的清雅机械工程专科。随后，他先后在多德雷赫特和海尔伦的飞利浦公司职责，负责 LCD 显示器检修工场的坐褥开发。在 Centurion 重组时间，Jan Timmer 割断了这条检修坐褥线，Loopstra 于 1991 年转入 ASML，成为别称开发工程师。

在 ASML，Loopstra 很快成长为别称时刻全面的时刻东说念主员，他不仅精明抑遏工程，还精明光学。“他的学习本事令东说念主赞叹，”与他沿途在 EUV 光刻规模职责多年的 Vadim Banine 回忆说念。“Erik 不是物理学家。发轫，他在物理问题中使用了完全荒唐的单元，但两周后，他用我方学到的常识让一位专科物理学家取代了他。”

马丁·范登布林克对 Loopstra 的见识印象深远。“举例，令我诧异的是，他确切地知说念自行车踏板的螺纹是什么以及为什么。”范登布林克向多达 30 名机械工程师问过不异的问题。“也问过最灵敏的东说念主。埃里克是唯独一个能告诉我的东说念主。”

系统想想家

Loopstra 的学习本事令其他同事赞好意思不已。他所作念的每件事他都想一探究竟。这种性情，加上他的表面和本质资质，使他成长为别称超过的系统架构师。“Erik 很是有力头，擅长开发精良的系统架构，”同事 Hans Vermeulen 说。他受雇于飞利浦制造时刻中心 (CFT)，在 EUV 早期与 Loopstra 相助策画了第一个 EUV alpha 演示器用的架构。“领先，他的职责有些缓慢，但也很是抉剔，严防细节。”

兼职解释 Vermeulen 在 2016 年的履新演讲中称 Loopstra 是他的榜样之一。“对他来说，莫得什么挑战是无法克服的。他的想考和调整速率、凡俗的系统常识、敏捷的放大和放松本事以及创造力使他成为我的榜样，激励着我。”

Jan van Eijk 在代尔夫特 De Jong 的团队担任学生导师时瓦解了年青的 Loopstra，他也主要将他视为系统想想家。“Erik 犀利对峙系统方法。他凡俗参与工程和科学的各个方面。渐渐地，他设法让我方身边围绕着一些知说念如安在不同规模作念出正确解释的辗转工程师。”

在 ASML 职责的早期，Loopstra 是 PAS 5500 团队的一员，他匡助将全新的模块化机器策画进入坐褥。凭借 PAS 5500，这家总部位于 Veldhoven 的公司在 1993 年实在登上了半导体行业疆土。而后，Loopstra 参与了险些通盘紧迫的机器开发，包括 20 世纪 90 年代后半期 PAS 5500 向步进扫描系统的演变、千禧年后推出的带有两个晶圆台的 Twinscan、随后升级为浸没式以及引入 EUV。Banine说：“通盘主要的 ASML 家具都带有 Erik 的钤记。”

2018 年的 Erik Loopstra。这组相片来利己欧洲发明家奖全球奖提名而创作的宣传材料，他最终与 Vadim Banine 沿途取得了该奖项

对峙不渝

20 世纪 90 年代末，飞利浦 CFT 仍在为 ASML 进行初步开发。除其他事项外，该公司还研究了 PAS 5500 的步进扫描旨趣。Loopstra 参与了 ASML 的这些表情。他缓缓进展了率领作用，并与 Jan van Eijk 和 Ton Peijnenburg 密切相助。“一语气几个月，咱们每周都会与 Martin 和 Erik 磋议规格，”Van Eijk 回忆说念。

行为一个说明性的例子，Van Eijk 提到了对于光罩台（用于移动与扫描晶圆台相对的重型掩模）最大加快度的磋议。“在第一台扫描仪中，咱们收场了 30 m/s2。对于 Twinscan，咱们 CFT 想要达到 50 m/s2，但 Erik 称这是怕死鬼的规格。那是怕死鬼的玩意儿。他想达到 80 m/s2。临了，第一代的速率仍为 50 m/s2，但 Erik 对峙不渝，当今，咱们研究的是 200 m/s2。”

借助 Twinscan，Loopstra 为均衡质地系统和长行程与短行程平台的激光干与仪的开发作念出了孝敬。对于 EUV alpha 演示器用，平面电机和真空时刻是主要挑战。对于High NA，则是极快的平台和大型扫描光学系统。此外，对于High NA，必须开发很是凡俗的计量系统来测量皮米级的多层镜。行为开发率领者之一，Loopstra 匡助塑造了它。“我死力于畴昔，”他在 2009 年采纳荷兰报纸《埃因霍温日报》采访时说说念，“研究当今尚不存在但几年后可能会出现的机器。”

完全奉献

行为一个天生具有突破界限的能源的东说念主，Loopstra 主要在新系统的见识阶段被使用。“行为一个有创造力的东说念主，他在开发的后期就没那么有效了，”Van Eijk 说。“在阿谁时候，他想出更好替代决策的倾向妨碍了收场所选的贬责决策。”

Loopstra 最受尊敬的是他在 EUV 方面的草创性职责。为此，他和 Vadim Banine 于 2018 年取得了欧洲发明家奖的全球奖。Banine 挑剔说：“Erik 全身心性进入到家具开发中。莫得什么是无法贬责的。他克服了通盘勤苦。这是创始性、宏大能源、高度专注和用心进入的辘集。”

转头曩昔，Van Eijk 将 Twinscan 的开发视为 Loopstra 最紧迫的孝敬。“对于 Twinscan，他勤苦鼓动收场具有 3D 均衡质地的晶圆台，”他通晓说念。“这在开发的第一阶段是过度的，因为触及的加快度相对较低。2D 贬责决策更浅近、更低廉。”但据 van Eijk 说，Loopstra 想要更多。“他鼓动了 3D 贬责决策，并说‘要是事实讲明咱们不需要它，咱们不错随时将其锁定在旋转中。’”锁定旋转的实验太难了，从未完成，但 3D 版块当今对 ASML 来说是不成或缺的。EUV 机器以机电一体化为基础，Erik 也为此作念出了宏大孝敬。”

Loopstra 也放纵撑持平面引擎的引入。在这里，前驱原则的取舍再次显得不那么彰着。Van Eijk：“在经验了一些阻力之后，ASML 才选定并奏效实行了这一见识。”

赢得尊重

为了匡助蔡司（有些东说念主以致在“匡助”一词上加了引号）收场高数值孔径 EUV 系统的立异，Loopstra 向德国东说念主迫临。领先，他在 ASML 职责，负责照亮掩模版的光学元件和将光罩投射到晶圆上的光学元件。转投蔡司后，他参与了奥伯科亨制造经由中测量和断然高数值孔径镜子的大型系统。

2018 年，Loopstra 长久移居德国，为蔡司提供了复杂机电抑遏系统方面的常识提升。由于他意思意思凡俗，况且大致快速掌抓光学等学科，因此这一举动“在咱们最近向高数值孔径机器立异的布景下很是天然”，Martin van den Brink 说。

在蔡司，Loopstra 匡助开发了 ASML 相助伙伴所需的 EUV 和高 NA 光学器件的测量时刻。“辘集仿真，这让咱们在最近几个月创下了完好的光刻纪录：7 纳米线，定位精度为 0.5 纳米，”Van den Brink 指出。“Erik 在曩昔几年也为这一豪举作念出了孝敬。嗅觉他还在 ASML 职责，尽管他在蔡司职责。”

鲜为东说念主知的是 Loopstra 在收购好意思国光刻公司 ASML 后的头十年中积极参与了 SVG Wilton 并入 ASML 的经由。在此经由中，他匡助 Wilton 的本事提升到了目下的水平：全面负责机器的尖端，包括光罩台。在圣地亚哥的 Cymer，Loopstra 参与了访佛的开发。Van den Brink：“Erik 成竹于胸地赢得了 Wilton、圣地亚哥和 Oberkochen 等新集团的尊重，充分说明了他无可争议的品性；他的推理往往很是令东说念主驯服。”

特别搀杂

在奥伯科亨与 Loopstra 有过近距离构兵的荷兰同事暗意，他和 ASML 职工团队在公司激励了一场组织地震。“他是大致冲破蔡司品级森严的壁垒并取得进展的特出东说念主物，”一位目睹者说说念。“这是一种文化冲击。他们不觉得这种牛仔文化在公司是可能的，即使他们与 ASML 打了 30 年交说念亦然如斯。他们严肃稳健，不瞎掰八说念，只管去作念。”

德国东说念主暗意，他们的经验略有不同。当蔡司的机电一体化团队得知埃里克·卢普斯特拉将与其他来私费尔德霍芬的工程师沿途赶赴奥伯科亨，聘用“一家公司的方法”，并在蔡司-ASML 搀杂团队中相助“为最终客户提供最好贬责决策”时，德国工程师领先惦记会被荷兰东说念主收购。这些担忧很快就肃清了。“埃里克赢得蔡司团队信任的速率确实太快了，”一位参与其中的工程师说。“恰是他独到的率领力、幽默感和诚笃，让他劝服了咱们，这种‘一家公司的方法’如实是一种很好的职责方法。他只花了不到两周的时分。”

据这位蔡司职工说，Loopstra 给团队带来了活力。在磋议可互换镜子时，德国工程师自可是然地将重心放在了风险和问题上。在屡次令东说念主颓落的对于可互换镜子是否可行的会议之后，“可互换”一词被赋予了负面含义。“Erik 在与 Martin van den Brink 的 ASML-Zeiss 接口会议上解释了他的见识，但他称其不是‘可互换’，而是‘咔哒咔哒’镜子，以通告更换镜子的速率有多快。从其时起，很彰着，咱们将开发可很是很是快速互换的镜子模块，”这位工程师回忆说念。“Erik 将这个主题从职守造成了一个你不错从中取得乐趣的挑战。”

Loopstra 还援用了他在德国的标记性言论。为了在磋议中以盛开的心态处理问题，他使用了“一切齐有可能，但你可能不可爱效果”这句话，意旨真理是“对新想法持盛开立场，接洽效果，但不要让它们困扰你”。他的团队很是抚玩这小数，他们有一件印有这句话的 T 恤。据其中一位知情东说念主士显示，Loopstra 团队成员第一次穿上这件玄色 T 恤是在一次界面会议上。“我嗅觉管束层中的一些东说念主正在挠头，怀疑咱们是不是走得太快了。”

西席

蔡司公司早就意志到，公司需要更多具备时刻率领本事的工程师来开发复杂的机电一体化系统。据公司里面东说念主士显示，Loopstra 看到了培养年青系统工程师的契机，并收拢了这一契机。蔡司公司的管束层瓦解到他是别称优秀的西席。非论他在那边职责，年青工程师都会得到培育。

“他们意志到与埃里克同事是一件很是景象的事情，”一位切身体验过此事的时刻司理说说念。“与他同事的东说念主很快发现，行为别称工程师，单纯的时刻本事并不及以给东说念主留住深远印象。你还必须诚笃，况且是一个恒久不会健忘目的的团队相助者。蔡司引入了积极的反应系统，当今有更多工程师的想维方法和步履方法都归功于埃里克的率领。”

在他死亡前几周，Loopstra 曾向 Van Eijk 自满过这件事，而 Van Eijk 曾是他的学生导师，他曾说他“不太会率领别东说念主”。“Erik 告诉我他在蔡司公司担任有抱负的时刻东说念主员的西席，这让我很诧异。曩昔，他更有力头，莫得耐性去率领别东说念主的学习经由。”

活力

早在 2000 年，Loopstra 就因其特出的时刻孝敬而取得认同。他被任命为首批两名 ASML 研究员之一。不到十年后，他成为该公司的首位高等研究员。2012 年，他取得了荷兰精密工程学会 (DSPE) 颁发的 Martin van den Brink 系统架构师奖。这是 DSPE 初次颁发该奖项，该行动险些完全献给同名东说念主物。Loopstra 本东说念主并不留心。他不是一个可爱出锋头的东说念主。2018 年，蔡司还在他入职后不久任命他为研究员，以赏赐他的草创性设立。

从个东说念主角度来说，Loopstra 与巴登-符腾堡州结下了不明之缘。他和老婆可爱这里的征象，于是在“渺无东说念主迹”的场所买了一座有 400 年历史的破旧农舍，里面有一个破旧的谷仓，距离奥伯科亨东部有半小时车程。这个个东说念主表情很快在蔡司的同事中广为东说念主知。“他和老婆启动重建丑陋的谷仓，并进入了多半元气心灵进行翻修，”一位同事说。“看到他们两个的设立确实太棒了。Erik 为蔡司付出了 100% 以上的勤苦，在业余时分，他仍然有元气心灵矫正那栋老屋子。他有这样多的元气心灵确实令东说念主难以置信。”

https://bits-chips.nl/article/erik-loopstra-1957-2024-unrelenting-motor-of-asmls-machine-development/

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